光譜儀在分析過程中產生誤差是難免的。誤差來源很多，就光電光譜分析來講，除了標準樣品和分析樣品的成分不均勻，組織狀況不一致外，光譜的性能不穩(wěn)定和樣品表面處理不當，以及氬氣純度不夠都會產生誤差。所以對每一位分析者來講，了解產生誤差的原因以及進一步研究消除誤差的方法是非常重要的。激發(fā)光源是光電光譜儀中一個極為重要的組成部分，它的作用是給分析試樣提供蒸發(fā)、原子化或激發(fā)的能量。在光譜分析時試樣的蒸發(fā)、原子化或激發(fā)之間沒有明顯界限，這些過程式幾乎是同時進行。

　　而這一系列過程均直接影響到分析結果。樣品中組分析元素的蒸發(fā)、離解、激發(fā)、電離、譜線的發(fā)射以及光譜線的強度除了與試樣成分的熔點、沸點、原子量、化學反應、化合物的離解能、元素的電離能、激發(fā)能、原子（離子）的能級物理和化學性質有關以外，還跟所使用的光源特性密切相關。不同的激發(fā)光源對各類樣品、各種元素具有不同的蒸發(fā)行為和激發(fā)能量，因此要根據不同的分析對象，選擇具有相應特性的激發(fā)光源。

　　光譜儀的應用領域：

　　1、合金材料分析

　　目前在合金材料檢測領域，它主嬰用于軍工、航天、鋼鐵、石化、電力、制藥等領城金屬材科中元素成份的現場測定，是伴隨世界經濟崛起的工業(yè)和軍事制造領域不可少的快速成份鑒定工具。

　　2、重金屬檢測

　　除了傳統的合金材料檢測、貴金屬，RoHs臺現篩查、礦石分析，手持式XRF儀器同樣在地質勒探和環(huán)填評估中發(fā)擔看重都的作用，通過分析士壤中的重金屬元素，可以知道整個區(qū)域的礦產分布和污染分布。

　　3、其他領域

　　XRF技術還可以用于一些新的領城，比如風電和汽車領城，通過對油品中全屬元素金盤進行檢測，可以間接反映軸承的磨損情況。還有許多新的XRF應用領減正在破開發(fā)出來，使得XRF技術在容個行業(yè)領城得到了廣泛的應用，比如工廠的生產制近環(huán)節(jié)的焊接質量控制，也會用到XRF會監(jiān)分析儀。